2023.3.1 В работе продемонстрировано атомно-слоевое осаждение (АСО) алюминий-молибденовых оксидных пленок (AlxMoyOz) с использованием триметилалюминия (ТМА, Al (CH3)3), оксотетрахлорида молибдена...
Read MoreОсаждение алюминия в виде гидроокиси для отделения от других элементов или последуюш,его гравиметрического определения— самый старый и
Read More2022.1.1 алюминия имеет зна чение энергии Гиббса обра- зования (Δ G ° f ), равное –378.2 ккал/моль [48], что
Read MoreАтомно-слоевое осаждение (АСО) (англ. Atomic Layer Deposition (ALD)) — это технология осаждения тонких плёнок, которая базируется на последовательных химических реакциях между паром и твёрдым телом и имеет свойство самоограничения. Большинство АСО-реакций используют два химических соединения, которые обычно называют прекурсорами. Та
Read MoreНЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ, 2023, том 59, № 4, с. 384–393 384 АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ АЛЮМИНИЙ-МОЛИБДЕНОВЫХ
Read More2018.1.22 Abstract. Получены тонкие пленки нитрида и оксинитрида алюминия методом атомно-слоевого осаждения в диапазоне ...
Read More3. Осаждению мешают многие анионы, образующие осадки с в условиях среды, при которой идет осаждение оксихинолином алюминия, а именно: фосфат, борат,
Read MoreЖелезо и алюминий оказывают существенное влияние на характер осаждения цинка. ВЛИЯНИЕ АЛЮМИНИЯ И ЖЕЛЕЗА НА ОСАЖДЕНИЕ ЦИНКА ИЗ
Read MoreАтомно-слоевое осаждение (или АСО) - это физико-химическая технология, позволяющая посредством нанесения тончайших газово-фазных нано-пленок
Read More